恒流泵具有提供超清潔、無碳氫化合物的真空環(huán)境的能力,故常被用戶選用。然而,用戶也偶爾會發(fā)現(xiàn)恒流泵提供不了不含碳氫化合物的真空環(huán)境。經調查發(fā)現(xiàn)碳氫化合物的來源,50%是操作失誤所帶來的問題,如恒流泵的前級泵為油封式旋片泵時,沒有控制返流的安全閥,不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染。 為了在系統(tǒng)中實現(xiàn)無碳氫化合物這一要求,在前級泵不是干式泵的情況下,有必要了解恒流泵的壓縮比及如何給泵充氣的一些基本知識。